In der Wissenschaft besitzt jeder so viel, wie er wirklich erkennt und erfasst.
[John Locke, englischer Philosoph, 1632 – 1704]
Das generelle Problem der Empfindlichkeit von Oberflächenanalysen lässt sich sehr einfach zeigen.
Angenommen, eine recht grosse Oberfläche Glas von 1 cm2 werde untersucht. Diese Oberflächenschicht ist aus ca. 1015 Atomen aufgebaut. Nun möchte man 1% Verunreinigungen feststellen - eine noch recht grobe Aussage. Das entspricht 1013 Atomen.
Müsste man diese 1013 Atome in einer Flüssigkeitsprobe von 1 cm3 Mineralwasser mit ca. 1023 Atomen finden, dann entspräche das einer Empfindlichkeit von 1/10'000'000'000 oder 0,1 ppb. Diese Empfindlichkeit ist so gross, dass sie nur mit grossem Aufwand erreicht werden kann. Solche analytische Anforderungen haben dazu geführt, dass sich die Grenzschichtchemie erst mit modernsten Messinstrumenten richtig entwickeln konnte.
Beispiel einer Quarzoberfläche (SiO2), die mit einer monomolekularen Schicht von Seifenmolekülen bedeckt ist:
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Quarzoberfläche |
Bindung von Seifenmolekülen an jedem 2 Sauerstoffatom |
Abbildung 69: Monomolekulare Schicht von Seife auf Quarz
Annahme: 50 x 50 mm Quarz- Glasoberfläche
· Abstand der O-Atome ca. 3 Angström = 0.3 Nanometer
· Pro 50 mm = 50 x 106 nm sind das 166 x 106 Atome (166 Millionen),
· für die ganze Fläche 166 x 106 x 166 x 106 = 2.8. x 1017 O-Atome
· Nun hängen wir an jedem 2. O-Atom ein Seifenmolekül, also 1.4. x 1017 Moleküle.
· Dafür werden 0.00007 Gramm Seife das sind 0.07 Milligramm Seife benötigt, das ist etwa 1/5 der Masse eines Fingerabdrucks!!
Folgerung: Die Belegung von Oberflächen kann nur mit äusserst empfindlichen Methoden analysiert werden.
Die Oberflächeneigenschaften reichen auch bei Festkörpern bis in eine gewisse Tiefe. Das erfordert von der Analytik ebenfalls, dass die untersuchte Schicht nicht dicker ist, als die Schicht, welche die Eigenschaften bestimmt.

Tiefe in Nanometer, millionstel Millimeter (Atomdurchmesser 0.1 – 0.7 nm)
Abbildung 70: Oberflächeneigenschaften
Die meisten Analysenmethoden sind für obersten Atome der Oberfläche empfindlicher, als für die unterliegenden Schichten, man spricht daher von oberflächenempfindlichen Analysen.
Einige wichtige Methoden sind:
· AES auger electron spectroscopy, atomic emission spectroscopy
· EDAX Energy Dispersive X-ray Spectroscopy
· ESCA electron spectroscopy for chemical analysis
· RBS Rutherford back scattering
· SEM scanning electron microscope
· SIMS, secondary ion mass spectrometry
· TOF-MS time of flight mass spectrometry
· TXRF Total X-Ray Reflection Fluorescence
· XPS X-ray photoelectron spectrometry
Abbildung 71 : Verschiedene Oberflächenanalysemethoden
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Anregung durch |
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Photonen |
Elektronen |
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Information über |
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Photonen |
RFA |
SXAPS |
SCANIIR |
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PIXE |
DAPS |
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EDAX |
BIS |
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EXAFS |
ESMA |
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Elektronen |
ESCA |
AES |
INS |
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XPS |
ELS |
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UPS |
EELS |
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LEED |
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HEED |
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RHEED |
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Ionen + Neutralteilchen |
LAMMA |
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ISMA |
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LISMA |
EID |
SIMS |
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LASMA |
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SNMS |
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ISS |
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RBS |
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10 nm |
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100 nm |
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10 mm |
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100 mm |
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1 mm |
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1 cm |
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10 ppt |
100 ppt |
1 ppb |
10 ppb |
100 ppb |
1 |
10 ppm |
100 ppm |
0.1 % |
1 % |
10 % |
100 % |
Abbildung 72 : Tiefenbereich und Empfindlichkeit von gängigen Oberflächenanalysemethoden[1]
Folgerung:
Nicht überraschend sind die empfindlichsten Methoden jede, welche relativ tief in die Probe hineinmessen.